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sem原理是什么
SEM（Scanning Electron Microscope）即掃描電子顯微鏡，是一種利用電子束掃描樣品表面從而獲得高分辨率圖像的儀器，其原理主要包括以下幾個方面：
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1、電子源：SEM使用電子槍產生高速電子束，這些電子經過加速電壓加速后成為具有高能量的電子。
2、聚焦系統：通過電磁透鏡（通常包括幾個透鏡）將電子束聚焦成非常細小的探針，以便在樣品表面上進行精細掃描。
3、掃描線圈：通過掃描線圈控制電子束在樣品表面上進行逐行掃描。
4、相互作用：當電子束撞擊樣品表面時，會與樣品原子發(fā)生相互作用，產生二次電子、背散射電子、X射線等信號。
5、信號檢測：不同的探測器用于捕捉上述信號，二次電子探測器用于捕捉二次電子以形成樣品表面的形貌圖像，而X射線探測器則用于分析樣品的元素組成。
6、圖像形成：收集到的信號被轉換為電信號，然后通過電腦處理生成圖像。
7、真空環(huán)境：SEM需要在高真空環(huán)境中工作，以防止空氣分子干擾電子束和樣品的相互作用。
以下是SEM的工作原理表格：
| 組件 | 功能 |
| 電子槍 | 產生高速電子束 |
| 電磁透鏡 | 聚焦電子束 |
| 掃描線圈 | 控制電子束在樣品上掃描 |
| 樣品 | 與電子束相互作用產生信號 |
| 探測器 | 捕捉產生的信號 |
| 信號轉換器 | 將信號轉換為電信號 |
| 電腦 | 處理電信號并生成圖像 |
| 真空系統 | 提供高真空環(huán)境以防止干擾 |
SEM的分辨率可以達到納米級別，使其成為研究材料表面形貌和元素組成的強大工具。
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